ساختار کلی یک اسکنر گالوو مانند شکل زیر است.
پرتو لیزر توسط دو آینه بازتاب شده و از طریق یک لنز روی سطح کار متمرکز میشود. آینهها قادر به انحراف سریع نسبت به محور چرخش هستند، که توسط موتور اسکنر گالوو حرکت میکنند. در بیشتر موارد، حداکثر زاویه انحراف آینهها ۱۲.۵± درجه است( در اغلب موارد، زاویه انحراف ۱۰± درجه محدوده مطمئنتری است). همچنین، در حالتی که آینهها در زاویه صفر قرار دارند، زاویه برخورد پرتو لیزر برای هر دو آنها، ۴۵ درجه است.
برخی از ویژگیهایی که در انتخاب هد اسکن باید مورد توجه قرار گیرد:
اندازه میدان اسکن، مطابق با کاربرد مد نظر
سرعت اسکن بیشینه
دستیابی به کمینه اندازه پرتو کانونی شده
هزینه مناسب
پرتو لیزر در یک زاویه θ، که دو برابر زاویه انحراف آینه است، اسکن میشود. بنابراین میدان اسکن معمولی ممکن است در هر دو جهت X و Y، ±۲۰ درجه باشد.( حداکثر میدان اسکن مرسوم ۲۵± درجه است).
اندازه میدان واقعی اسکن سطح کار( پس از قرار دادن لنز بر روی هد اسکن) برای هر دو جهت X و Y تقریبا برابر است با ۲Ftanθ، برای مثال اگر θ=۲۰° و فاصله کانونی لنز برابر F=16cm باشد، اسکنر قادر است که سطحی به اندازه ۱۱.۵ سانتی متر را اسکن نماید.